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全自動(dòng)納米壓印光刻預(yù)處理設(shè)備

2025年05月21日 17:15:18      來(lái)源：智造先鋒 >> 進(jìn)入該公司展臺(tái)      閱讀量：1

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GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自動(dòng)納米壓印光刻預(yù)處理設(shè)備，自動(dòng)上下片，包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能。

  • GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自動(dòng)納米壓印光刻預(yù)處理設(shè)備主要功能

●全自動(dòng)納米壓印光刻基底預(yù)處理

●機(jī)械手自動(dòng)上下片，包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能

●毛刷清洗、二流體清洗、兆聲波清洗

●旋涂勻膠，包含自動(dòng)供膠系統(tǒng)、EBR、BSR等功能

●熱板烘烤、冷板冷卻功能

設(shè)備照片

 

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