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FMA-2601A-I質(zhì)量流量控制器 OMEGA/歐米茄

FMA-2600A系列質(zhì)量與體積流量控制器在層流場(chǎng)中使用差壓原則來確定和控制質(zhì)量流速。流量計(jì)中的層流元件(LFE)迫使氣體進(jìn)入層流。泊肅葉方程規(guī)定， 在這一區(qū)域體積流速與壓力下降呈線性關(guān)系。使用壓差傳感器衡量LFE固定距離中的壓力下降情況。同時(shí)結(jié)合氣體的粘度準(zhǔn)確判定體積流速。引入單獨(dú)的溫度和壓力傳感器，并根據(jù)一系列標(biāo)準(zhǔn)條件糾正氣體流速。這種標(biāo)準(zhǔn)流速俗稱質(zhì)量流速，并使用每分鐘標(biāo)準(zhǔn)立方英尺(SCFM)或每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升(SLM)等單位表示。
該控制器采用連接到流體的真正比例閥，通過一體化PID回路控制器控制流體。標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備包括0 ~ 5 V輸出（可選4 ~ 20 mA）和RS232通訊。可通過前面板鍵盤或RS232通訊調(diào)整氣體選擇功能和設(shè)定值。體積 流量、質(zhì)量流量、壓力以及溫度均可以通過RS232連接查看或記錄。同時(shí)，在距離為46 m (150')的同一串口連接上，最多可與26臺(tái)設(shè)備進(jìn)行多點(diǎn)通訊。

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