蘇州市新杉本電子科技有限公司/ 日本大冢電子OTSUKA 蘇州新杉本直銷/陳小姐
膜厚量測(cè)儀 FE-300
產(chǎn)品信息
特 長(zhǎng)
薄膜到厚膜的測(cè)量范圍、UV~NIR光譜分析
高性能的低價(jià)光學(xué)薄膜量測(cè)儀
藉由優(yōu)良反射率光譜分析膜厚
完整繼承FE-3000優(yōu)異機(jī)種90%的強(qiáng)大功能
無復(fù)雜設(shè)定，操作簡(jiǎn)單，短時(shí)間內(nèi)即可上手
線性*小平方法解析光學(xué)常數(shù)（n:折射率、k:消光系數(shù)）
測(cè)量項(xiàng)目
優(yōu)良反射率測(cè)量
膜厚解析（10層）
光學(xué)常數(shù)解析（n：折射率、k：消光系數(shù)）
產(chǎn)品規(guī)格
樣品尺寸 | *大8寸晶圓（厚度5mm） | |||
|---|---|---|---|---|
測(cè)量時(shí)間 | 0.1s ~ 10s以內(nèi) | |||
量測(cè)口徑 | 約φ3mm | |||
通訊界面 | USB | |||
尺寸重量 | 280（W）× 570（D）×350（H）mm，約24kg | |||
軟體功能 | ||||
標(biāo)準(zhǔn)功能 | 波峰波谷解析、FFT解析 適化法解析 小二乘法解析 | |||
選配功能 | 材料分析軟件、薄膜模型解析、標(biāo)準(zhǔn)片解析 | |||
※1 請(qǐng)于本公公司聯(lián)系聯(lián)系我們
※2 對(duì)比VLSI標(biāo)準(zhǔn)樣品（100nm SiO2/Si），范圍值同保證書所記載
※3 測(cè)量VLSI標(biāo)準(zhǔn)樣品（100nm SiO2/Si）同一點(diǎn)位時(shí)之重復(fù)再現(xiàn)性。（擴(kuò)充系數(shù)2.1）
應(yīng)用范圍
半導(dǎo)體晶圓膜（光阻、SOI、SiO2等）
光學(xué)薄膜（OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等）
測(cè)量范例
PET基板上的DLC膜
Si基板上的SiNx
| 仟漁 |
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