DE1220真空泵日本KASHIYAMA樫山工業(yè)供應
南京騰宇機電科技有限公司
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產(chǎn)品詳情：
【大排気量対応】SDE シリーズ
耐プロセスモデルのスタンダード
01
FEATURE
排気速度
20萬L/min
クラスまで対応
02
FEATURE
大型の
ウエハー/FPD
基板に適
03
FEATURE
あらゆる
プロセスに対応
?
主要型式
| 仕様 / 型式 *1 | SDE1220 | SDE20M20 | SDE30M20 | SDE4060 | SDE4030M20 | SDE8060 | SDE804060 |
| 排気速度 [L/min] *2 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 60,000 | 80,000 | 120,000 | 190,000 |
| 到達圧力 [Pa] *2 | |||||||
| 電源電圧 (50/60Hz) | 3相 AC200～220V,?380～480V | ||||||
| 外観寸法 [mm] W*H*L *3 | W:400 H:780 L:930 | W:450 H:950 L:1000 | W:450 H:950 L:1000 | W:750 H:1200 L:1600 | W:800 H:1580 L:1320 | W:850 H:1220 L:1600 | W:1000 H:1980 L:1850 |
*1. 20,000L/min 未満のクラスも取り揃えております?！?2. N2パージ未使用時の値です。
*3. パッケージ寸法になります。詳細寸法については外観図をご請求下さい。
*海外規(guī)格対応についてはお問い合わせ下さい。また、仕様及び型式名に関しては予告なく変更される可能性があります。
排気性能曲線
*排気性能曲線は組合せにより変更となります。
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