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特性：

1、檢出限低、重復(fù)精度高，以及測量適用性廣，因此特別適用于研究和開發(fā)使用

2、配備真空測量室和高性能硅漂移探測器，能夠?qū)崿F(xiàn)準確測量，尤其是對輕元素的測試

3、通過可編程 X、Y 和 Z 軸進行自動測試

4、準直器和濾波器可切換，因此可適用于各種材料和測試條件

應(yīng)用：

涂層厚度測量

1、原子序數(shù)從Na（11）開始的輕元素鍍層，可測量厚度低至納米級

2、鋁鍍層和硅鍍層

材料分析

1、測定寶石的真?zhèn)闻c原產(chǎn)地

2、常規(guī)材料分析和取證

3、高分辨率恒量分析