mks比例閥驅動器全量程壓力測量作為單個模擬輸出信號或通過可選的串行RS-485或DeviceNet?數字接口提供。取決于提供了三個可選的設定點繼電器，可以將它們配置為用于過程控制在整個真空范圍內的任何壓力下分配繼電器的能力。該系列392 Micro-Ion Plus可以帶或不帶顯示屏，并且可以配置為寬各種法蘭。第二代Micro-Ion Plus具有集成的儀表組件電子存儲器包含工廠校準信息。電存儲器由控制器使用模塊可為新的和替換的儀表提供工廠級的校準精度，并跟蹤量規(guī)的使用信息，以便MKS服務團隊可以快速了解您的應用程序環(huán)境。微型Pirani Conductron提供更高的精度通過在量規(guī)范圍內進行更好的熱管理。
運動控制系統(tǒng)可以根據被測器件以多種方式定制。圖1顯示了光纖對準系統(tǒng)的不同配置，從簡單的單通道單側設置到更復雜的雙面多通道設置，其中包括機器視覺、點膠/固化以及上下料等。其他設置可能包括水平和垂直波束的輸入和輸出。每種配置都需要一組的運動控制產品，這取決于該器件所需的性能。
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