膜厚測量儀可由用戶按需選擇裝配模塊，核 心部件包括光源，光譜儀（適用于 200nm-2500nm 內(nèi)的任何光譜系統(tǒng)）和控制單元，電子通訊模塊。
此外，還有各種各種配件，比如：
1.用于測量吸收率/透射率和化學(xué)濃度的薄膜/試管架；
2.用于表征涂層特性的薄膜厚度工具；
3.用于控制溫度或液體環(huán)境下測量的加熱裝置或液體試劑盒；
4.漫反射和全反射積分球。
通過不同模塊組合，蕞終的配置可以滿足任何終端用戶的需求。
測量原理：
1.光學(xué)干涉法：這是膜厚測量儀中較常用的原理之一。它基于光的干涉現(xiàn)象，通過測量光波在材料表面反射和透射后的相位差來計算薄膜厚度。這種方法適用于透明或半透明的薄膜，如光學(xué)薄膜、半導(dǎo)體薄膜等。
2.X射線熒光測厚法：在金屬鍍層厚度測量儀中，X射線熒光測厚儀是一種廣泛使用的儀器。它利用X射線照射金屬表面，通過測量熒光輻射的能量來測量鍍層厚度。這種方法適用于各種金屬材料的鍍層厚度測量。
3.超聲波測厚法：超聲波測厚儀利用超聲波在介質(zhì)中的傳播速度和聲波反射原理，通過測量超聲波在涂層中的傳播時間和反射時間來計算涂層厚度。這種方法適用于涂層、塑料、橡膠等非金屬材料的厚度測量。
4.渦流測厚法：渦流測厚儀則是利用電磁感應(yīng)原理，通過測量渦流在涂層中的變化來計算涂層厚度。這種方法也適用于涂層、塑料、橡膠等非金屬材料的厚度測量。
膜厚測量儀的配件：
1.電腦：19英寸屏幕的筆記本電腦/觸摸屏電腦；
2.聚焦模塊：光學(xué)聚焦模塊安裝在反射探頭上，光斑尺寸＜100um；
3.顯微鏡：用于高橫向分辨率的反射率及厚度顯微測量；
4.流通池：液體中吸光率、微量熒光測量；
5.積分球：用于表征涂層和表面的鏡面反射和漫反射；
6.薄膜/比色皿容器：在標(biāo)準(zhǔn)器皿中對薄膜或液體的透射率測量；
7.接觸式探頭：用于涂層厚度測量和光學(xué)測量的配件，適用于彎曲表面和曲面樣品；
8.手動 X-Y 樣品臺：測量面積為 100mmx100mm或200mmx200mm的x-y手動平臺；
9.加熱模塊：嵌入FR-tool中，范圍由室溫~200℃，通過FR-Monitor 運行可編程溫控器（0.1℃精度）；
10.液體模塊：聚四氟乙烯容器，用于通過石英光學(xué)窗口測量在液體中的樣品。樣品夾具，用于將樣品插入可處理30mmx30mm樣品的液體中；
11.Scanner（motorized）：帶有圓晶卡盤的Polar（R-Θ）或 Cartesian（X-Y）自動化樣品臺可選，Polar（R-Θ）樣品臺支持反射率測量，Cartesian（X-Y）樣品臺支持反射率和透射率測量。
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