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晶線斷裂檢測系統(tǒng)

系統(tǒng)概述

在直拉法單晶硅棒生產(chǎn)過程中，晶棒在液面處慢慢生長為固體晶棒。晶棒在生長過程中，其表面每隔90度形成一條豎直的晶線。由于生產(chǎn)時(shí)的不確定因素會導(dǎo)致晶線斷裂，產(chǎn)品就不合格。生產(chǎn)中需要監(jiān)測單晶棒的生長，及時(shí)發(fā)現(xiàn)晶線斷裂并發(fā)出告警。如果未及時(shí)發(fā)現(xiàn)晶線斷裂，晶棒會在無晶線的情況下繼續(xù)生長成為廢品。
通過在單晶硅生長爐觀察孔安裝相機(jī)連續(xù)拍攝單晶硅棒的圖像、算法軟件自動判斷晶線是否斷裂實(shí)現(xiàn)對生長過程的自動監(jiān)測。

正常晶線示例 晶線斷裂示例

技術(shù)難點(diǎn)

采集的圖像是由高溫爐內(nèi)液體和固態(tài)晶棒的溫度不同而產(chǎn)生的灰度圖像，因此圖像的對比度較小，給晶線的識別和判斷造成了一定的困難。使用深度學(xué)習(xí)算法，通過大量的樣本進(jìn)行訓(xùn)練，訓(xùn)練得到的深度神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)能夠準(zhǔn)確地識別出晶線是否斷裂。

檢測結(jié)果

晶線未斷裂檢測實(shí)例

晶線斷裂檢測實(shí)例