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HET-1T多功能高精度二維材料顯微轉(zhuǎn)移系統(tǒng)

關(guān)鍵詞：二維材料，干法，濕法，范德華

適用于石墨烯，硫化鉬，黑磷等單層材料精確定點(diǎn)轉(zhuǎn)移，以及多層范德華異質(zhì)結(jié)的制備。
由于在制備多層異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)的二維半導(dǎo)體材料晶體管的過程中，需要將一層二維材料轉(zhuǎn)移到另一層二維材料上。在常規(guī)的大氣環(huán)境中進(jìn)行轉(zhuǎn)移操作時(shí)，難免會(huì)遇到轉(zhuǎn)移后兩層材料中含有少量氣泡的問題；并且，某些二維材料會(huì)受到空氣中水和氧的影響，使得材料本身的性能下降。兩者使得器件性能大大下降。

1. 顯微轉(zhuǎn)移操作平臺(tái)：

a. 四軸可調(diào)襯底載物平臺(tái)： XY方向行程 20mm，轉(zhuǎn)移對位操作精度2μm；繞z 軸手動(dòng)調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)±90°，測微器精細(xì)調(diào)節(jié)，行程5°，調(diào)節(jié)精度0.5°左右； 繞x軸和y 軸傾斜臺(tái)，調(diào)節(jié)方式手動(dòng)轉(zhuǎn)輪，臺(tái)面厚度20mm，傾斜角度±2°。

b. 襯底載物平臺(tái)加熱系統(tǒng)：樣品臺(tái)加熱溫度為240 ℃，使用 PID 溫度控制器，溫度控制穩(wěn)定性小于±1℃（穩(wěn)定性≦±0.1℃），帶加熱開關(guān)。

c. 四軸可調(diào)載玻片移動(dòng)平臺(tái)：載玻片 XYZ三軸可調(diào)，80mm高穩(wěn)定性臺(tái)面，行程25mm，測微絲桿控制；Z軸為29mm直徑百刻線微分頭，便于精細(xì)升降操作；樣品送入手動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)，臺(tái)面直徑100mm，粗調(diào)旋轉(zhuǎn)范圍360°，細(xì)調(diào)旋轉(zhuǎn)范圍±5°，定位精度1~ 2°；

d. 支持真空自動(dòng)吸附樣品，確保轉(zhuǎn)移過程中目標(biāo)樣品位置精確固定；真空泵電磁閥控制，按鈕控制是否吸附樣品；真空泵：25L-35L/min 流量；

e．雙邊載玻片夾具：輔助夾具片2片，夾具片75*25*1.5mm；

f．集成控制機(jī)箱：集成機(jī)柜包括電源、顯微鏡LED控制、溫度控制、真空開關(guān)控制，工作電壓220V，輸出功率800W；

2. 顯微成像光路系統(tǒng)：

a. 單筒顯微鏡：變倍比1:6.5，變倍范圍0.7X-4.5X，標(biāo)準(zhǔn)工作距離90mm，分辨率63-180lp/mm，95mm超長工作距離20倍物鏡，綜合放大倍率850~900倍；雙固定位設(shè)計(jì)，高倍放大下圖像無明顯抖動(dòng)。

b. 白色LED照明：同軸照明系統(tǒng)，選用高亮度單顆1W LED，色溫5500K，照明均勻；LED照明控制器90V-250V寬電壓,1W LED控制器，可調(diào)光；

c. 顯微相機(jī)：1920x1080高靈敏度CMOS傳感器，30fps速度保存；支持HDMI相機(jī)直接輸出到顯示器；曝光時(shí)間0.4ms~999ms，自動(dòng)白平衡；支持WIFI數(shù)據(jù)傳輸；提供顯微相機(jī)操作軟件，支持電腦控制，可軟件測量顯微樣品尺寸及角度；工作溫度-10~ 50攝氏度。

d. 顯微觀察支架：一體式高穩(wěn)定性支架，長寬高240mm*100mm* 100mm，重量20kg，支持沿 xy方向 50mm行程，可大范圍調(diào)節(jié)顯微鏡觀察位置；

e. 顯示器：24英寸1920*1200全高清專業(yè)顯示器。