| 品牌 | 賽奧特（SAT) |
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SAT 520等離子清洗機(jī)（Plasma）
應(yīng)用領(lǐng)域：適用于材料科學(xué)、光學(xué)、光電子學(xué)、生命科學(xué)、電子學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、高分子科學(xué)、半導(dǎo)體、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域.
等離子灰化儀、清洗機(jī)主要應(yīng)用: 1.表面清潔 2.表面活化 3.鍵合 4.去膠 5.金屬還原 6.簡(jiǎn)單刻蝕 7.去除表面有機(jī)物 8.疏水實(shí)驗(yàn) 9.沉積實(shí)驗(yàn) 10.形成新的基團(tuán) 11.鍍膜前處理等
等離子灰化儀、清洗機(jī)主要特點(diǎn)：
1.實(shí)時(shí)檢測(cè)和顯示真空度,使得機(jī)器在智能控制下有了可靠的依據(jù).
2.真空值可自由設(shè)定,(范圍:10—60帕)為外加氣體提供了可靠的輝光啟動(dòng)環(huán)境,為輝光純度提供了有利的保障,保證了實(shí)驗(yàn)效果的準(zhǔn)確性和可靠性.
真空腔體采用鉸鏈側(cè)開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu),帶有觀察窗,材料為6061材質(zhì).
4.真空腔體、管路、閥體全部為不銹鋼材料.
5.電容式（CCP）激發(fā),實(shí)驗(yàn)效果穩(wěn)定,均勻可靠,電極板置于樣品倉(cāng)內(nèi)頂部懸掛.
6.觸摸屏+內(nèi)置計(jì)算機(jī)顯示控制,手動(dòng)/自動(dòng)兩種模式任意切換.
7.程序化設(shè)計(jì)，預(yù)先編輯好程序，儀器自動(dòng)完成實(shí)驗(yàn).
8.利用氣體電離后產(chǎn)生的等離子體的反應(yīng)活性與材料表面發(fā)生的物理或者化學(xué)反應(yīng)，使材料表面成分、組成和結(jié)構(gòu)發(fā)生變化，并能得到某些特定的基團(tuán)。
9.無(wú)需任何耗材，使用成本低，無(wú)需特殊進(jìn)行維護(hù)，在日常使用中保持儀器清潔即可。
技術(shù)規(guī)格參數(shù)
型號(hào)：SAT 520 | 品牌：賽奧特（SAT） |
※不銹鋼腔體 | Φ155 mm×L255mm |
※射頻頻率 | 13.56MHz 頻率偏移量＜0.2KHz |
※射頻功率 | 150W，0到150W可調(diào)，精度：1瓦， |
※輝光放電低功率 | 低輝光放電功率：10W |
輝光放電時(shí)間設(shè)定 | 1秒到99分59秒 |
氣路設(shè)置 | 三氣路（兩路進(jìn)氣，一路放空） |
工作氣體穩(wěn)定時(shí)間 | 氣體穩(wěn)定時(shí)間:可調(diào)整，可設(shè)定，最長(zhǎng)時(shí)間180秒 |
※進(jìn)氣控制 | 兩路浮子流量計(jì)控制 |
工作氣體 | 空氣/氮?dú)?span>/氬氣/氮?dú)浠旌蠚?span>/氬氦混合氣等均可; 也可接入無(wú)腐蝕性、無(wú)毒的工作液體溶液，例如:六甲基二硅氧烷(HMDSO)接入工作液體需要選配接枝儀來(lái)配套使用。 |
進(jìn)氣壓力 | 空氣常壓，連接鋼瓶：0.2Mpa |
真空泵 | 可選機(jī)械油泵或者干泵 |
電 源 | ~220V／50Hz |
整機(jī)尺寸（寬*深*高） | 440X500X482mm |
重 量（約） | 25KG |
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