這款高精度直驅(qū)線性平移臺是精密線性直驅(qū)平移臺,采用光學編碼器和3相無鐵線性無刷伺服電機技術(shù),為用戶帶來零反沖高精度平移運動,具有*的平移精度高,重復精度高和摩擦低的特點。
高精度直驅(qū)線性平移臺采用線性非接觸式光學編碼器作為反饋系統(tǒng),使得位置控制高達亞納米級分辨率。
高精度直驅(qū)線性平移臺采用自然老化鋁合金確保了平移臺高溫穩(wěn)定性和輕巧性,以及優(yōu)良的長周期運動,導軌系統(tǒng)不會發(fā)生漂移。
高精度直驅(qū)線性平移臺可以用于潔凈空間環(huán)境或真空度10^-3Torr的真空環(huán)境,也可根據(jù)用戶要求提供高真空直驅(qū)平移臺。
高精度直驅(qū)線性平移臺可以輕松地直接連接到光學平臺上,可直接安裝搭建成電動XY二維平移臺,無需使用任何連接板,也可按要求提供垂直Z軸平移臺。
高精度直驅(qū)線性平移臺還可以安裝到花崗巖龍門架或高精度平臺上實現(xiàn)高精度平移定位。
圖1：高精度直驅(qū)線性平移臺實物圖
高精度直驅(qū)線性平移臺特點
超精密位移運動能力
直接驅(qū)動無反沖backlash系統(tǒng)
高分辨率非接觸式光學編碼器
高精度線性導向和運載系統(tǒng)
超長使用壽命
方便集成到各種平臺或光學機械系統(tǒng)中
XY二維位移臺的正交性高達<=5arcsec
非常適合光學延遲線應用
圖2：采用高精度直驅(qū)線性平移臺搭建的電動XY二維線性位移臺系統(tǒng)
高精度直驅(qū)線性平移臺規(guī)格
| 行程范圍 | 300mm |
| 編碼器類型 | 光學編碼器 |
| 編碼器型號 | LEn1 |
| 編碼器分辨率 | 25nm~5um任意 |
| 編碼器接口 | 差分RS422 |
| 放大系數(shù) | 4-200任選 |
| 編碼器光柵周期, | 20um |
| 參考標記 (Index) | Yes |
| 精度2) | |
| 標定前 | ±5μm |
| 標定后 | ±1μm |
| 單向重復精度 | N/A |
| 雙項重復精度（peak-peak)2) | ±0.15μm |
| 雙項重復精度(RMS) 2) | ±0.08μm |
| Pitch 3) | ±30 / ±6.20 μrad/arcsec |
| Yaw 3) | ±30 / ±6.20 μrad / arcsec |
| Roll | N/A |
| 速度 (負載4Kg) 4) | <2000mm/s |
| 加速度 ((負載4kg) 5) | <20000mm/s^2 |
| 安全限位開關(guān) (Safety) | Optical (Optrons) |
| 安全限位開關(guān)極性 | Pushed is closed |
| 限位開關(guān)電壓 | 5…24V |
| 負載導向信息 | |
| 類型 | 線性電機平移臺 |
| 電機類型 | LM3 |
| 電機設計類型 | 無鐵BLDC Motors |
| Bus Voltage | >300VDC |
| 負載 (中心放置) 6) | |
| 水平 | 30kg |
| 運動質(zhì)量 7) | 1.2kg |
| 導向系統(tǒng) | 循環(huán)直線軌道和載物滑塊單元 |
| 材料和外殼信息 | |
| 外部材料 | 鋁合金 |
| 外殼處理 | 黑色陽極氧化 |
| 環(huán)境壓力 | 標準大氣壓 |
| 工作溫度 | 20±2°C |
| 控制器 | |
| 推薦控制器 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series |
| 推薦驅(qū)動器 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series |
| 推薦電源 9) | Request Standa support |
| 推薦通訊接口 12) | EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP |
| 線纜長度 | 2m |
| 差分輸出 10) | On request |
| 配件 | |
| 底板 | 不需要 |
| XY二維平移臺系統(tǒng)搭建 | 直接搭建,不需要安裝適配板 |
| Z軸豎直平移臺搭建 | 可以 |
| 外形尺寸 | |
| 移動臺尺寸 (W x L) | 140 x 140mm |
| 外形尺寸 (W x L x H) | 185 x 513 x 55mm |
| 公制或英制 | 公制 / 英制均可提供 |
| XY二維平移臺正交性 11) | 24/5 μrad/arcsec |
| 防護處理 13) | 基礎防護 |
| RoHS | 滿足 |
| 重量 | 6.75kg |
1) 默認為x4轉(zhuǎn)PPR-脈沖數(shù)/每轉(zhuǎn)，模擬SIN/COS編碼器接口
2)精度和雙向重復定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer測量計算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-OL 電子自相關(guān)儀器測試,電子自相關(guān)儀11D-ALI-OL分辨率1μrad. 環(huán)境誤差1μrad.
4) 速度由編碼器限制和驅(qū)動器CUT-OF頻率以及導向系統(tǒng)限制.
5)加速度由驅(qū)動器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)決定.
6)負載能力由導向系統(tǒng)決定.
7) 運動質(zhì)量是系統(tǒng)常數(shù)m0,通常是沒有負載時的慣性。
8) 推薦的控制器和驅(qū)動器有助于發(fā)揮電動平移臺的性能.
9) 推薦的電源是根據(jù)用戶的占空比和負載來選擇.
10) 差分輸出接口,可提供主動或被動LCMv2接口.
11) 可組成正交性能更好的XY二維電動位移臺系統(tǒng).
12) 標量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通訊接口,矢量控制建議采用EtherCAT接口。
13) 平移臺包括特殊封蓋,可用于灰塵嚴重或濕度較大的環(huán)境。
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