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　　這款高級自動光譜橢偏儀是自動變角橢偏儀,能夠自動改變測角計入射角的spectroscopic ellipsometer,角度改變步進(jìn)高達(dá)0.01度，光譜范圍覆蓋250-1700nm, 是寬波段高精度自動橢偏儀。

　　高級自動光譜橢偏儀光譜范圍覆蓋從深紫外到可見光再到近紅外.深紫外波長非常適合測量超薄薄膜，比如納米厚度薄膜厚度，比如硅晶圓的薄膜厚度，典型值在2nm左右。對于測量許多材料的帶隙，深紫外光譜橢偏儀也非常重要。

　　橢圓偏振技術(shù)是通過研究光束在樣本表面反射后偏振態(tài)變化而獲得表面薄膜厚度等信息的薄膜測量技術(shù)。

　　與反射計或反射光譜技術(shù)不同的是，光譜橢偏儀參數(shù)Psi 和Del并非在常見入射角下獲得。通過改變?nèi)肷浣谴笮?，可獲得許多組數(shù)據(jù)，這樣就非常有助于優(yōu)化橢偏儀測量薄膜或樣本表面的能力，因此變角橢偏儀功能遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于固定角橢偏儀。

　　改變橢偏儀入射角的方法有兩種，一種是手動調(diào)節(jié)，一種是自動調(diào)節(jié)入射角，我們可提供兩種模式的橢偏儀。

　　高級自動光譜橢偏儀特色

　　易于安裝，拆卸和維護(hù)

　　*的光學(xué)設(shè)計

　　自動改變?nèi)肷浣?，入射角分辨率高達(dá)0.01度

　　高功率250-1100nm光源適合多種應(yīng)用

　　采用陣列探測器確保高速測量

　　測量薄膜膜堆的薄膜厚度和折射率

　　可用于實或在線監(jiān)測薄膜厚度和折射率

　　具有齊全的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫

　　提供工程師模式，服務(wù)模式和用戶模式三種使用模式

　　靈活的工程師模式用于各種安裝設(shè)置和光學(xué)模型測量

　　一鍵快速測量

　　全自動標(biāo)定和初始化

　　精密樣品準(zhǔn)直界面直接樣品準(zhǔn)直，不需要額外光學(xué)

　　精密高度和傾斜調(diào)整

　　適合不同材料和不同后的樣品襯底基片

　　2D和3D數(shù)據(jù)顯示輸出

　　高級自動光譜橢偏儀參數(shù)

　　波長范圍：250-1700nm

　　波長分辨率：1nm （深紫外）， ~3nm （可見光）， ~6nm (近紅外）

　　測量點大小：1-5mm可調(diào)

　　入射角：20-90度可調(diào)

　　入射角分辨率：0.01度

　　可測樣品大?。?00x100mm

　　可測樣品厚度：高達(dá)10mm

　　測量薄膜厚度：0nm ---30um

　　測量時間 1s/點

　　精度 0.25%

　　重復(fù)精度 lt;1A

　　高級自動光譜橢偏儀可選配件

　　反射或透射光度測量配件

　　微點測量小面積

　　X-Y位移臺用于厚度繪圖

　　加熱臺/制冷臺用于薄膜動力學(xué)研究

　　垂直樣品安裝測角計

　　波長拓寬到IR范圍

　　掃描單色儀配置