納米垂直定位臺SHL系列是采用納米編碼器具有高負(fù)載能力的三軸納米定位臺,能夠在Z軸垂直方向升降定位,具有不同范圍的負(fù)載。
納米垂直定位臺具有獨(dú)立導(dǎo)軌，確保負(fù)載方向直線運(yùn)動(dòng)。并可以集成多種定位編碼器用于直接位置反饋。
納米垂直定位臺為垂直升降定位而設(shè)計(jì),可額外裝備恒力彈簧抵消負(fù)載,從而獲得平穩(wěn)的更大負(fù)載值。
納米垂直定位臺采用納米編碼器可托舉高達(dá)10kg負(fù)重升降數(shù)毫米高度,多軸系統(tǒng)可以在三個(gè)軸向提供更高阻尼力。
納米垂直定位臺系列規(guī)格參數(shù)
| 型號 | SHL-1D20N-10 | SHL-1D80N-1 | SHL-3D5N-1 |
| 分辨率 | <1nm | <1nm | <1nm |
| 負(fù)載 | 20N(2kg) | 80 N (8 kg) | 5 N (500g) |
| 適合真空度 | 10-11 mbar | 10-11 mbar | 10-11 mbar |
| 行程范圍 | 10mm（+/-5mm) | 1mm | 1mm |
| 步進(jìn) | 10-300nm | 1 – 150 nm | 1 – 150 nm |
| 掃描范圍 | >500um | > 500 μm | > 500 μm |
| 掃描分辨率 | <1nm | < 1 nm | < 1 nm |
| 速度 | >5mm/s | > 1 mm/s | >5mm/s |
| 頻率 | 10KHz | 10 kHz | 10 kHz |
| 正向力Fn | 20N | 80N | 5N |
| 升力Fl | 20N | 80N | 5N |
| 尺寸2 | 65 x 75 x 50 mm^3 | 41 x 86 x 50 mm3 | 100 x 140 x 40 mm3 |
| 重量 | 400g | 340g | 650g |
| Closed-Loop-S 傳感器分辨率1
| 1nm | 1nm | 1nm |
| Closed-Loop-S 重復(fù)精度2
| +/-100nm | +/-100nm | +/-100nm |
| Closed-Loop-L 傳感器分辨率
| 4nm | 4nm | 4nm |
| Closed-Loop-L 閉環(huán)分辨率
| +/-500nm(H)CU,4nm MCS | +/-500nm(H)CU,4nm MCS | +/-500nm(H)CU,4nm MCS |
| Closed-Loop-L 重復(fù)精度
| +/-1um(H)CU,+/-200nm MCS | +/-1um(H)CU,+/-200nm MCS | +/-1um(H)CU,+/-200nm MCS |
說明：
1）重復(fù)精度是全行程測量數(shù)據(jù)，行程小時(shí)重復(fù)精度更高
2） 尺寸和其它處理工藝可定制
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