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　　六自由度并聯(lián)微定位臺(tái)P-SLC-24采用德國六自由度并聯(lián)微納平臺(tái)hexapod提供六軸并聯(lián)動(dòng)力學(xué)納米定位,具有更緊湊結(jié)構(gòu),更高剛性,更低的運(yùn)動(dòng)質(zhì)量和更高的響應(yīng)速度。六自由度并聯(lián)微定位臺(tái)P-SLC-24采用模塊化設(shè)計(jì),其尺寸和強(qiáng)度可以適應(yīng)不斷變化的要求,從幾厘米到幾乎一米的行程都可提供,并具有納米分辨率。

　　六自由度并聯(lián)微定位臺(tái)P-SLC-24規(guī)格參數(shù)分辨率<1nm

　　負(fù)載：1000g (10N)

　　真空度:10^-11mbar

　　可提供非磁性材料制造（根據(jù)用戶要求）

　　垂直載荷Fv:10N水平力Fh:5N尺寸:> 110 x 90 x 68 mm3重量:≈ 300 ~2000 g行程范圍：

　　x- 79 ~ 119 mmy -45~119 mmz -≤ 12 mm

　　Θx：≤31 °

　　Θy：≤ 27°

　　Θz：≤42 °

　　帶納米傳感器-S閉環(huán)最小增量（x，y，z）：1nm最小增量（Θx,Θy,Θz）：1urad重復(fù)精度(xyz全行程）：±200 nm重復(fù)精度(Θxyz全行程）：±10urad重復(fù)精度（1mm行程@xyz)：±15 nm材料和真空可選項(xiàng)目納米級(jí)距離編碼傳感器非磁性材料（NM）

　　-高真空HV (10-6 mbar), -超高真空UHV / -UHVT (10-11mbar)

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