六維并聯(lián)微動平臺P-SLL采用德國六自由度并聯(lián)機(jī)器人hexapod提供六軸并聯(lián)動力學(xué)微動平臺功能,具有更緊湊結(jié)構(gòu),更高剛性,更低的運(yùn)動質(zhì)量和更高的響應(yīng)速度。六維并聯(lián)微動平臺P-SLL采用模塊化設(shè)計(jì),其尺寸和強(qiáng)度可以適應(yīng)不斷變化的要求,從幾厘米到幾乎一米的行程都可提供,并具有納米分辨率。
六維并聯(lián)微動平臺P-SLL規(guī)格參數(shù)分辨率<1nm
負(fù)載：1000g (10N)
真空度:10^-11mbar
可提供非磁性材料制造（根據(jù)用戶要求）
垂直載荷Fv:10N水平力Fh:5N尺寸:> 250 x 80 x 67 mm3重量:≈ 300 ~2000 g行程范圍：
x- 20 ~ 1200 mmy -45~119 mmz -≤ 16 mm
Θx：≤42 °
Θy：≤ 33°
Θz：≤42 °
帶納米傳感器-S閉環(huán)最小增量（x，y，z）：1nm最小增量（Θx,Θy,Θz）：1urad重復(fù)精度(xyz全行程）：±200 nm重復(fù)精度(Θxyz全行程）：±10urad重復(fù)精度（1mm行程@xyz)：±15 nm材料和真空可選項(xiàng)目納米級距離編碼傳感器非磁性材料（NM）
-高真空HV (10-6 mbar), -超高真空UHV / -UHVT (10-11mbar)
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