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　　微型激光直寫(xiě)光刻機(jī)是的桌面型高分辨率激光光刻系統(tǒng)，它通過(guò)固定連續(xù)的375nm或405nm紫外光源在光刻膠或紫外敏感膠中直接刻劃獲得微納結(jié)構(gòu)，直寫(xiě)面積高達(dá)4英寸，最小特征尺寸（寬度）可達(dá)1微米。

　　微型激光直寫(xiě)光刻機(jī)提供豎直和掃描直寫(xiě)模式，確保直接軌跡偏離小于100nm。微型激光直寫(xiě)光刻機(jī)具有電動(dòng)光學(xué)聚焦系統(tǒng)，提供快速的聚焦功能，從而適合各種厚度襯底的要求，并具有晶圓裝載和卸載系統(tǒng)裝備到襯底室供客戶(hù)選配，增強(qiáng)清潔程度，提高工作量和用戶(hù)安全程度。

　　微型激光直寫(xiě)光刻機(jī)兼容大多數(shù)商用光刻膠，比如SU8，shipley, AZ等，我們還對(duì)K-CL膠特別優(yōu)化，用于微結(jié)構(gòu)應(yīng)用。

　　微型激光直寫(xiě)光刻機(jī)特色

　　非常緊湊的桌面型設(shè)計(jì)

　　掩膜制作和激光直寫(xiě)

　　激光光源375nm 或405nm 任選

　　兼容所有商用光刻膠

　　對(duì)比度高達(dá)1x20

　　自動(dòng)聚焦

　　豎直直寫(xiě)或掃描直寫(xiě)模式

　　微型激光直寫(xiě)光刻機(jī)參數(shù)

　　直線直寫(xiě)速度 gt;100mm/s

　　位移臺(tái)分辨率：100nm

　　重復(fù)精度：100nm

　　晶圓直寫(xiě)面積：1-4英寸

　　襯底厚度：150um-5mm

　　激光光斑大小：1um-50um

　　標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)直精度：1um

　　form factor: 10