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　　XUV/VUV極紫外光譜儀是一款掠入射XUV-VUV光譜儀器和極紫外光柵光譜儀器,非常適合表征測(cè)量短脈沖激光發(fā)射。

　　XUV/VUV極紫外光譜儀由掠入射振幅光柵和高靈敏度CCD組成,適合探測(cè)6eV到210eV能量范圍。光學(xué)強(qiáng)度和光譜校準(zhǔn)后，可測(cè)量激光XUV-VUV源（例如DPP和LPP源）發(fā)射的紫外光子數(shù)以及等離子體表面或氣體介質(zhì)中的高次諧波產(chǎn)生。

　　XUV/VUV極紫外光譜儀特點(diǎn)

　　振幅光柵 光譜儀

　　適合6nm~200nm寬光譜范圍內(nèi)的測(cè)量

　　適合探測(cè)6eV到210eV能量范圍

　　-掠入射振幅光柵，為一級(jí)光衍射提供極寬的光譜范圍

　　-高量子效率CCD

　　-緊湊型設(shè)計(jì)

　　XUV/VUV極紫外光譜儀分光計(jì)設(shè)計(jì)原則：

　　?與獨(dú)立透射光柵相比，掠入射振幅光柵具有更高的可靠性和魯棒性，同時(shí)為軟X射線的整個(gè)光譜范圍提供了更高的靈敏度

　　?使用平振幅反射光柵可以避免所有偶數(shù)級(jí)衍射，并對(duì)高奇數(shù)級(jí)進(jìn)行深度抑制，從而實(shí)現(xiàn)高信號(hào)和低噪聲測(cè)量

　　?該方案中沒(méi)有聚焦元件，使得在所有光譜范圍內(nèi)都能可靠地工作，因此設(shè)計(jì)非常緊湊

　　?CCD探測(cè)器具有穩(wěn)定的量子響應(yīng)，可以方便地進(jìn)行定量測(cè)量

　　與透射光柵光譜儀相比，XUV/VUV極紫外光譜儀在6nm以下的整個(gè)光譜范圍內(nèi)保持高靈敏度：

　　XUV/VUV極紫外光譜儀規(guī)格

　　光譜范圍：6-200nm

　　分辨率：λ/Δλ=50

　　掠射角：6度

　　縫寬：80um（默認(rèn)），可根據(jù)要求更改

　　格柵：TGZ-2，工作區(qū)3x3mm

　　可用探測(cè)器：

　　1、東芝1304AP CCD線，3600個(gè)元素，像素周期8um，敏感部分6um，無(wú)機(jī)熒光粉

　　2、Hamamatsu S7030/S7031系列1024x122像素，24um周期

　　3、ANDO440-BN相機(jī)，2048x512，13.5微米周期

　　或客戶要求的其他CCD探測(cè)器。