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　　這款大面積紫外曝光固化機(jī)是采用紫外LED冷光源的LED紫外曝光機(jī)和LED紫外固化機(jī)，是一種冷光源LED紫外固化裝置，它提供標(biāo)準(zhǔn)的365nm紫外線，廣泛用于光刻膠紫外曝光固化,合晶圓鍵合 wafer bonding,臨時(shí)鍵合temproary bonding,切割藍(lán)膜,切割膠帶,切割藍(lán)膜DICINGTAPE的固化應(yīng)用。

　　大面積紫外曝光固化機(jī)是*單色紫外發(fā)射，具有35mW/cm^2的功率密度，在9英寸的面積上光源均勻度搞到+/-10%, 是理想的高精度紫外曝光機(jī)。

　　這套大面積紫外曝光固化機(jī)采用了的LED光源技術(shù)，*實(shí)現(xiàn)單波長紫外冷光源照明，有效消除熱效應(yīng)，非常適合實(shí)驗(yàn)室或超凈間的紫外曝光使用。

　　大面積紫外曝光固化機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊，方便移動(dòng)，采用觸摸屏控制操作，*有效安全控制紫外曝光室。

　　大面積紫外曝光固化機(jī)的LED紫外光源壽命高達(dá)1萬小時(shí)，非?？煽慷陀?，不需要日常維護(hù)，非常方便使用。

　　大面積紫外曝光固化機(jī)特點(diǎn)

　　兼容4寸，6寸，8寸晶圓

　　兼容9寸’’(8''晶圓）和7寸（6‘‘晶圓）框架

　　非常緊湊，桌上使用設(shè)計(jì)

　　完紫外單色LED冷光源，更高固化效率

　　工作面積為9英寸晶圓

　　適合所有光刻膠

　　無需預(yù)熱，直接開機(jī)使用

　　實(shí)時(shí)溫度控制功能確保均勻曝光

　　紫外照明功率強(qiáng)度可調(diào)

　　可單次曝光或連續(xù)曝光

　　適合光學(xué)，生物科技，微電子，晶圓鍵合，固化，細(xì)胞培養(yǎng)等多種應(yīng)用

　　大面積紫外曝光固化機(jī)參數(shù)

　　波長：365nm +/-5nm

　　功率密度：145mW/cm^2

　　曝光過程中襯底溫度上升 lt;2攝氏度

　　曝光時(shí)間：1秒到1小時(shí)

　　可編程控制循環(huán)：10個(gè)

　　外部尺寸：350x 350x350mm

　　重量：22kg

　　彩色觸摸屏：5.7英寸

　　供電要求：230V

　　用電功耗：800W

　　切割藍(lán)膜曝光時(shí)間：ADWILL D650：15秒, ADWILL D175 P370:45秒