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　　Kleindiek納米操縱儀是為外部電子顯微學(xué)制備樣品而設(shè)計(jì)的超精密樣品拾取裝卸系統(tǒng),它在納米尺度靈活微操縱樣品。

　　Kleindiek納米操縱儀安裝

　　安裝有一根微夾鉗，一個(gè)四軸輔臺(tái)，在表面有一個(gè)允許快速接近的小型CCD攝像頭。Kleindiek納米操縱儀是由安裝在一個(gè)超小型平臺(tái)上的一個(gè)四軸輔臺(tái)構(gòu)成。在輔臺(tái)上安裝了一個(gè)微夾鉗，促進(jìn)提取。操作該輔臺(tái)將預(yù)切樣品放置在微夾鉗下。在這之后，微夾鉗夾住樣品并輕輕地固定住樣品，固定要足夠牢固，只要使輔臺(tái)向旁邊下落，就可以將樣品從大量材料提取出。一旦分離，在TEM網(wǎng)格上，將樣品與SEM兼容膠水接觸，并且用離子束固化。

　　Kleindiek納米操縱儀規(guī)格：

　　取樣室兼容平臺(tái)上的輔臺(tái)

　　樣品尺寸：30mm

　　行程：X和Y =10mm

　　行程：Z軸為3mm

　　行程：R =360°（無限）

　　速度：可達(dá)1mm/秒

　　分辨率 lt;0.5nm

　　笛卡爾運(yùn)動(dòng)

　　沒有反彈或翻轉(zhuǎn)

　　是大多數(shù)SEM和FIB工具的簡(jiǎn)單取樣室裝置

　　幾乎不受震動(dòng)影響

　　微夾鉗

　　運(yùn)輸和組裝微型物體的高分辨率夾持器

　　抓握區(qū)域：（5至10 μm）

　　分辨率：20nm

　　夾持力：5至5000μN(yùn)（變量）

　　跨度范圍：20?40 μm

　　SemCam

　　樣品表層的小相機(jī)

　　允許快速接近

　　包括顯示器和LED照明