下一代掃描聲學(xué)顯微鏡是為失效分析設(shè)計(jì)的多功能SAM聲學(xué)掃描顯微鏡,可快速發(fā)現(xiàn)空隙,脫膠,裂縫,分層,內(nèi)部缺陷等。
下一代掃描聲學(xué)顯微鏡規(guī)格參數(shù)
用戶界面:雙2'' HD LED顯示器
免維護(hù)掃描軸:線性伺服電機(jī)
位移速度:1500mm/s
位移精度和重復(fù)精度:+/-0.5um
掃描長(zhǎng)度:400mm
步進(jìn)長(zhǎng)度:380mm
焦距:35mm
C-掃描面積: 360x350mm
T-掃描面積:360x220mm
重量:250kg
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