微型雙晶片變形反射鏡是特別為激光光束像差控制設(shè)計的Bimorph Mirrors。制造這種小型雙晶片變形反射鏡有兩種辦法,一種是使用幾個壓電片，第二種方法是在相當(dāng)小的方形壓電陶瓷上放置高密度的控制電極網(wǎng)格，從而制造出小電極。
雙晶片變形反射鏡規(guī)格參數(shù)
?鏡孔直徑 gt;=12mm
?施加電壓: 0V~+300V
?變形行程：高達(dá)10μm
?控制電極數(shù)量：18
?頻率范圍：5 KHz
?滯后： 12%
?損傷閾值：3J/cm2@λ=0.8um，20J/cm2@λ=1.06um
每個雙晶片變形反射鏡都配有控制單元的電子模塊，通過USB端口與標(biāo)準(zhǔn)PC機相連。包括標(biāo)準(zhǔn)軟件。
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