這套激光微加工平臺特別為飛秒激光微加工定位和飛秒激光微加工位移應(yīng)用設(shè)計設(shè)計的納米級激光微加工平臺和激光微加工位移臺，廣泛適合主流的飛秒激光器和皮秒激光器，全面滿足科學(xué)家和工程師自我搭建激光微加工系統(tǒng)的要求, 已經(jīng)在美國和歐洲被科學(xué)家和激光微納設(shè)備制造商廣泛采購使用。
這套激光微加工平臺采用微加工領(lǐng)域主流的花崗巖架構(gòu)，有效濾除振動對微加工的影響，確保激光光束相對樣品表面保持的穩(wěn)定。
激光微加工平臺采用罕見的納米位移平臺為樣品提供定位，保持了的定位精度，可靠性和重復(fù)性。
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激光微加工平臺參數(shù)：
行程范圍：375mm x 200mm x 25(50)mm x360° x360°
分辨率：X,Y,Z=50nm, θz/x =1.095arc sec
精度： X,Y,Z =+/-1um， θz/x =10arc sec
重復(fù)精度：X,Y,Z =0.75um， θz/x =3arc sec
正交性：X-Y-Z =3arc sec, θz-θx =10arc sec
加速度：1G
行進速度：500mm/sec
穩(wěn)定性：1nm
飛秒激光微加工平臺控制器部分
電壓：220VAC 專業(yè)為中國電力狀況而設(shè)計
電源：5/10Amp
五軸控制能力
接口：網(wǎng)線或USB
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