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在線薄膜缺陷檢測

　　4096線高速線掃描攝像機(jī)

　　線光源

　　像素及記憶棒

　　軟件系統(tǒng)：

　　Windows XP Professional操作系統(tǒng)

　　薄膜圖像處理缺陷分級軟件軟件

在線掃描照相機(jī)

　　功能部件：CCD在線掃描照相機(jī)

　　傳感器：4096像素，傳感器尺寸×10μm

　　像素尺寸：10μm×10μm

　　動(dòng)態(tài)速率范圍：1200：1

　　像素頻率：160MHz

　　線頻率：36KHz

　　尼康鏡頭

　　檢測寬度120mm

　　分辨率25μm

　　線性掃描速度：25m/min(約400mm/s)

　　過程速度約32000 lines per 4096像素/s

　　操作溫度10℃~50℃

照明系統(tǒng)

　　LED3線(超高亮度/高聚光)亮度可調(diào)，燈長250mm

　　薄膜檢測系統(tǒng)可以自動(dòng)調(diào)節(jié)曝光時(shí)間。測試系統(tǒng)可根據(jù)薄

　　膜的透明度自動(dòng)調(diào)節(jié)燈的亮度。同時(shí)照明燈的亮度也可以

　　通過軟件手動(dòng)設(shè)置。

　　光源照明方式

　　根據(jù)樣品材料的不同， 可提供不同的燈光照明方式。對透明薄膜透射，對半透明（不透明）薄膜直接反射。

圖像分級處理

　　可根據(jù)用戶的需求設(shè)定檢測范圍

　　檢測結(jié)果的不同分析方法

　　軟件工具:

　　- 大小

　　- 形狀

　　- 圖表 (時(shí)間歷史, 尺寸分布, 柱狀圖等 )

　　薄膜掃描軟件賦予用戶自行設(shè)定檢測過程并表示出

　　檢測結(jié)果的手段

在線薄膜厚度測定儀技術(shù)參數(shù)

　　傳感器類型 激光傳感器與創(chuàng)新的CMOS檢測

　　光學(xué)系統(tǒng) 常規(guī)反應(yīng)（漫反射）

　　測試中心距離 40mm(漫反射：30mm)

　　測試范圍 ±2，5mm(漫反射：±2，0mm)

　　光源 可見光半導(dǎo)體激光(波長：650nm，1mW max.，Class 2)

　　光束形狀 線形光束

　　光束直徑 x35μm

　　線性度 測量刻度的±1%

　　分辨率 μm

　　溫度特性 %測量刻度/℃

　　取樣周期少110μs，標(biāo)準(zhǔn)：500μs

在線光澤度定儀

　　測試角 45°

　　標(biāo)準(zhǔn) astmd 2457

　　霧度測試范圍 0~2000GU(GU=Gloss units)

　　重復(fù)性 0~:,200~2000GU:%

　　再現(xiàn)性 0~:,200~2000GU:%

　　測試傳感器 適用于V形

　　光源 白光，LED

在線霧度定儀

　　測量原理 雙光束分光光度計(jì)

　　幾何 總傳輸擴(kuò)散/8°

　　光譜儀 高分辨率的二極管陣列和256種元素的全息光柵

　　直徑 152mm

　　頻譜帶寬 400nm~700nm

　　波長分辨率 <3nm

　　波長精度 nm