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產(chǎn)品概述
憑借其可配置的大容量腔室，手動加載的EcoCoat硅烷氣相沉積系統(tǒng)旨在滿足您的工藝開發(fā)和批量生產(chǎn)要求。 三條獨(dú)立的蒸汽輸送管線，出色的熱均勻性和原位氣體等離子體為系統(tǒng)提供了工藝靈活性，同時為晶圓，載玻片或熱塑性表面保持了優(yōu)異的硅烷單層沉積均勻性。

?表面改性以促進(jìn)/防止粘附

?用于NIL，MEMS，AR/VR的防粘膜

?生物分子與玻璃，塑料或硅的共價鍵合

?等離子清潔和活化表面，控制疏水性

靈活的化學(xué)蒸汽輸送系統(tǒng)可與多種有機(jī)硅烷兼容。 可以使用小型測試瓶或大型安瓿瓶，從而實(shí)現(xiàn)從研究到低成本的大批量生產(chǎn)的過渡。 三個獨(dú)立的蒸汽輸送管線可容納多種前體或水，以實(shí)現(xiàn)表面水合，從而實(shí)現(xiàn)的硅烷與底物的結(jié)合。 集成的等離子體功能通過三個獨(dú)立的MFC控制的過程氣體輸入來實(shí)現(xiàn)。 靈活的腔室擱板/電極允許從晶片（200/300 mm）到載玻片和3D熱塑設(shè)備使用各種各樣的基板形狀因子。