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　　這款手動型晶圓探針臺廣泛用作分析探針臺和RF探針臺,可測試200mm晶圓,性價比高,配置靈活多樣,具有加熱型晶圓夾盤chuck,體式顯微鏡,RF屏蔽箱等諸多配件可選擇,適合實驗室半導(dǎo)體器件測試和晶圓探針臺測試應(yīng)用。

　　手動型晶圓探針臺特色

　　手動操作樣品臺，行程范圍225mm x 225mm

　　加載或卸載晶圓非常方便

　　傳統(tǒng)的粗調(diào)和微調(diào)臺板設(shè)計,范圍12.5mm

　　光滑的磁鐵臺板可支撐高達(dá)10個磁性或真空

　　高質(zhì)量體式放大顯微鏡,工作距離高達(dá)200mm, LED照明,放大倍數(shù)3.5X~180X

　　帶有相機接口

　　兩側(cè)帶有連接接口,適合連接微,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF鏈接接頭

　　標(biāo)準(zhǔn)的XYZ三維位移臺顯微鏡

　　可提供RF探針,RF卡盤,RF隔離箱等附件

　　手動型晶圓探針臺規(guī)格參數(shù)

　　適合晶圓大?。?00mm

　　手動XY位移臺： 行程范圍225mm x 225mm， 分辨率5um

　　臺板行程：12.7mm 或更大，

　　臺板調(diào)整：帶有粗調(diào)和微調(diào)功能,重復(fù)精度+/-1.5um

　　臺板平面度 lt;+/-12.7um @150mm長度

　　臺板剛度： <5um @4.5kg

　　樣品夾盤規(guī)格

　　真空：多區(qū)真空

　　平面度：+/-13um

　　擊穿電壓：500V

　　隔離度：1G歐姆

　　調(diào)整：360度粗調(diào)， +/-6度微調(diào)

　　顯微鏡：高質(zhì)量體式放大顯微鏡,工作距離高達(dá)200mm, 放大倍數(shù)范圍3.5X~180X

　　電學(xué)接頭：BNC, Triax, RF, Banana插頭

　　安裝要求：真空度<600Torr, CDA:60psi(僅適用于啟動XY升級位移臺）

　　整體尺寸: W78cm xD80cm x H58cm

　　凈重：85kg ~95kg (根據(jù)所選不同配件）