單點(diǎn)少子壽命測(cè)量?jī)x系統(tǒng)是經(jīng)濟(jì)型晶圓壽命測(cè)量?jī)x器,對(duì)不同制備階段的硅材料電學(xué)參數(shù)進(jìn)行表征。單點(diǎn)少子壽命測(cè)量?jī)x可測(cè)量小于156mm厚度的晶錠,沒(méi)有自動(dòng)化配置,手工操作。可增配電阻率測(cè)試功能,適合硅，晶圓片和晶錠壽命測(cè)量。
單點(diǎn)少子壽命測(cè)量?jī)x特點(diǎn)
無(wú)接觸和非破壞的電學(xué)參數(shù)測(cè)試
對(duì)外延工藝監(jiān)控和不可見(jiàn)缺陷檢測(cè)，具有可視化測(cè)試的分辨率
對(duì)于不同級(jí)別晶圓片，提供不同的菜單選項(xiàng)
單點(diǎn)少子壽命測(cè)量?jī)x優(yōu)勢(shì)
用于不同制備階段，從成體到最終器件，多晶硅或單晶硅單點(diǎn)測(cè)量載流子壽命的臺(tái)式裝置。
體積小，成本低，使用方便。擁有一個(gè)基本的軟件，結(jié)果可視化。
適用于晶圓片到晶錠，易于高度調(diào)整。
單點(diǎn)少子壽命測(cè)量?jī)x技術(shù)參數(shù)
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