CIF是一家集實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備研發(fā)、制造、銷售、服務(wù)、產(chǎn)品應(yīng)用為一體的專業(yè)化公司,在半導(dǎo)體技術(shù)和無機(jī)樣品前處理技術(shù)領(lǐng)域?yàn)榭蛻籼峁?的、高品質(zhì)的實(shí)驗(yàn)儀器設(shè)備和應(yīng)用工藝解決方案。
紫外臭氧清洗機(jī)(UVOzone Cleaner, UVO),是一種簡單,經(jīng)濟(jì),快速高效的材料表面清洗設(shè)備,能快速去除大多數(shù)無機(jī)基材(比如石英,硅片,金,鎳,鋁,砷化鎵,氧化鋁等)表面上的有機(jī)污染物。
CIF紫外臭氧清洗機(jī)采用長壽命UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,樣品臺高度可調(diào)并可選配加熱控溫功能,以達(dá)到z佳清洗效果。
/孫經(jīng)理
v UVO基礎(chǔ)型采用可編程數(shù)字控制器,設(shè)置操作簡單方便,四鍵操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色觸摸屏設(shè)置顯示計(jì)時時間及加熱溫度。
v 自動補(bǔ)償功能,自動恒定光強(qiáng)光密度,不會因?yàn)榈蛪汗療衾匣鈴?qiáng)衰減影響清洗效果。
v 數(shù)字倒計(jì)時顯示清洗時間,1-999分鐘之間可自行設(shè)置清洗時間。
v 可隨時手動中斷處理過程。
v 自動記錄之前清洗參數(shù)設(shè)置。
v 樣品臺可控溫(可選),控溫范圍RT-260℃,控溫精度℃。
v 頂置下壓式鉸鏈開關(guān)蓋方式,操作簡單方便。
v 上置式樣品臺設(shè)計(jì),360度自由放置樣品,操作方便。
樣品臺高度可調(diào),通過調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距,可以合理定位樣品高度和位置,并可鎖定。
UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,燈管壽命大約為8000小時。
高強(qiáng)度UV燈源,波長185nm和254nm。
UV反射罩(長x寬)比UV格柵燈大,比如規(guī)格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm。
雙重安全保護(hù),當(dāng)清洗腔打開時,系統(tǒng)安全鎖會關(guān)掉UV燈,并有燈光通斷提示。
帶進(jìn)&出氣口雙氣路設(shè)計(jì),可接入氧氣或者臭氧,增加臭氧產(chǎn)量。
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